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科技新突破丨我國科學(xué)家成功研發(fā)最小超快閃存器件

2024-08-14 16:17:18 來源: 科技日報 點擊數(shù):

復(fù)旦大學(xué)周鵬—劉春森團隊研發(fā)了不依賴先進(jìn)光刻設(shè)備的自對準(zhǔn)工藝,成功實現(xiàn)了溝道長度為8納米的超快閃存器件。該器件是目前國際最短溝道閃存器件,突破了現(xiàn)今15納米硅基閃存物理尺寸極限。相關(guān)研究成果12日發(fā)表于國際期刊《自然·電子學(xué)》。

(科技日報 潘宇菲 王春)


責(zé)任編輯:王倩

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